ISO/AWI 19383
Titre manque
Numéro de référence
ISO/AWI 19383
Edition 1
© ISO 2024
Projet de travail
Projet
Un groupe de travail a préparé un projet.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Stade
    : Nouveau projet enregistré au programme de travail du TC/SC [20.00]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

Cycle de vie

Objectifs de développement durable

Cette norme contribue à l'Objectif de développement durable suivant

9
Industrie, innovation et infrastructure

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