недоступно на русском языке

Тезис

 Preview

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.


Общая информация 

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2015-08
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет
     : ISO/TC 201/SC 9 Scanning probe microscopy
  • ICS
     :
    71.040.40 Chemical analysis

Приобрести данный стандарт

Формат Язык
PDF
Бумажный
  • CHF92

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.40
  8. ISO 13083:2015