ISO 11952:2019
2019-05
Тезис
This document specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes (SPMs) for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intended for general industry use, where a lower level of calibration might be required.
This document has the following objectives:
— to increase the comparability of measurements of geometrical quantities made using SPMs by traceability to the unit of length;
— to define the minimum requirements for the calibration process and the conditions of acceptance;
— to ascertain the instrument's ability to be calibrated (assignment of a "calibrate-ability" category to the instrument);
— to define the scope of the calibration (conditions of measurement and environments, ranges of measurement, temporal stability, transferability);
— to provide a model, in accordance with ISO/IEC Guide 98-3, to calculate the uncertainty for simple geometrical quantities in measurements using an SPM;
— to define the requirements for reporting results.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2019-05Этап: Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 201/SC 9ICS :71.040.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 11952:2014
-
Сейчас
ОпубликованоISO 11952:2019
Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет
Этап: 90.93 (Подтверждено)-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
