ISO/DIS 23131-3

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ISO/DIS 23131-3

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Resumen

This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies.

Informaciones generales

Estado
: En desarrollo

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Etapa
: Voto sobre el DIS iniciado: 12 semanas [40.20]
Edición
: 1

Número de páginas
: 30
Comité Técnico :
ISO/TC 107

ICS :
17.020
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