Norme internationale
ISO 14606:2022
Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur par bombardement — Optimisation à l'aide de systèmes mono- ou multicouches comme matériaux de référence
Numéro de référence
ISO 14606:2022
Edition 3
2022-11
© ISO 2024
Norme internationale
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Indisponible en français
Publiée (Edition 3, 2022)

ISO 14606:2022

Format
Langue
CHF 96
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Résumé

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2022-11
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 3
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 4
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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7
Énergie propre et d'un coût abordable
9
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