ISO 14606:2022
p
ISO 14606:2022
83238
недоступно на русском языке

Тезис

 Preview

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.


Общая информация 

  •  : Опубликовано
     : 2022-11
  •  : 3
  •  : ISO/TC 201/SC 4 Depth profiling
  •  :
    71.040.40 Chemical analysis

Приобрести данный стандарт

ru
Формат Язык
std 1 92 PDF + ePub
std 2 92 Бумажный
  • CHF92

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)